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华体会(hth)官网入口合洁电子净化工程:半导体净化车间设计装修应遵循
发布时间:2022-07-05
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  集成电路无尘室、芯片生产车间和半导体制造车间这三大类车间是电子制造业里需要建设净化车间的部分。这也是电子生产行业的特殊写照。电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为苛刻,必须严格控制微粒/浮尘,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等内容做出标准要求,这也就是我们业内常说的工业净化车间,其目的就是为了电子行业一些精度高的产品在合适的环境下进行生产,以提高产品的合格率、性能、寿命等。

  当然,电子厂房也不会专门只设计装修一个净化车间,大多是在厂区新建或者升级改造的形势下,做整厂的装修计划。这里面就有区分无尘受控洁净区和普通区域。

  像我们前面说的半导体净化车间就会建设在洁净生产区,在这部分工作区域内,工作人员需要做严格的隔离措施进到无尘室空间工作(穿无尘服)。因为在无尘室受控条件内生产的电子产品多为高精度的电子元器件,仪器设备对环境要求较高,不起眼的微尘都会影响到精密电子产品的质量,穿无尘服可以防止身上的尘埃进入到空气中,保障无尘车间的清洁度。

  半导体净化车间按照工艺要求一般会分千级、万级或十万级,譬如末端工艺的LCD制屏无尘车间。背光屏冲压无尘车间、组装净化车间洁净度一般设为万级或十万级,不需要达到千级。总的来说在净化车间有多种工艺工序时,可以根据工艺的不同要求,采用不同的空气洁净度标准进行建设。

  要使半导体净化车间洁净度等级达到相应要求,风量、温度、湿度、压差、设备排风等都要按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,同时对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。华体会(hth)官网入口过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。半导体万级净化车间相关技术指标如下:

  2、半导体万级净化车间温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊无尘车间有相关温湿度规定)。

  3、半导体万级净化车间垂直流无尘室满布比不应小于60%,水平单向流无尘室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

  4、半导体万级净化车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

  5、半导体万级净化车间室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

  6、根据热,湿负荷计算确定电子厂无尘室的送风量,保证供给无尘室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。

  7、半导体万级净化车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。

  无论哪种净化车间都是依据生产工艺的基础来做设计,再结合预算做设备选型,做全面评估,综合工艺、空间等各种因素来确定采用何种净化方案和净化设备选型等内容。譬如:要求不高,可以选用柜机+FFU。要空气处理效果最大化、噪音低、厂房面积也比较大且预算不吃紧的,可以设计组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口的方案,并按技术评估后的方案为甲方推荐合理的设备选型。经技术调整后的搭配方案不仅为甲方后续稳定运行打好基础,可能也为甲方节省下了不必要的开支。

  半导体净化车间是工业无尘室中非常富有技术性的净化工程,建设单位的技术水平会直接影响整个工程的优劣。所以半导体制造行业的净化工程须谨慎对待,与专业的洁净工程EPC集成服务商合作会是相对保险的良策。

  以上就是本篇文章全部讲解,想必您读到这里,一定对半导体净化车间设计装修应遵循哪些技术指标要求有了一定的认识,希望对您有所帮助!

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